CKD（喜開理）AMDZ1-6-2，這是一款基礎(chǔ)型化學液體用氣控閥，屬于 AMDZ 超小型 2 通閥系列。

它主要用于半導體、液晶生產(chǎn)等需要高潔凈度化學液體控制的場景，核心優(yōu)勢是采用氟樹脂閥體與 PTFE 膜片，實現(xiàn)無金屬接觸的耐腐蝕密封。

參數(shù)項規(guī)格數(shù)據(jù)

產(chǎn)品系列AMDZ 系列（2 通閥，超小型）

使用流體化學液體、純水、

N

2

N 

2

  氣體、空氣（注意：標準型不可用于酸性流體）

流體溫度5 ～ 80℃ 

耐壓力1.0 MPa 

使用壓力 (A→B)0 ～ 0.5 MPa 

使用壓力 (B→A)0 ～ 0.3 MPa 

背壓0 ～ 0.3 MPa 

閥座泄漏0（水壓條件下）

節(jié)流孔徑約 ?2 mm（AMDZ*2 系列數(shù)據(jù)）

Cv 值0.08（PFA 閥體，Rc1/8 連接時約為 0.12）

連接方式根據(jù)型號“6"推斷，涉及 Rc1/8 或 ?3/?6 管接頭（具體需核對實物銘牌）

操作壓力NC/NO：0.3 ～ 0.5 MPa；雙作用：0.2 ～ 0.3 MPa 

操作氣口M5 

環(huán)境溫度0 ～ 60℃ 

安裝方向任意 

主要材質(zhì)閥體：PFA/PTFE；膜片：PTFE；活塞桿：SUS303

產(chǎn)品特點與優(yōu)勢

無金屬接觸的耐腐蝕結(jié)構(gòu)：閥體采用 PFA/PTFE 氟樹脂，隔膜為 PTFE，與流體接觸的部分不含金屬。這能有效防止藥液侵蝕金屬離子析出，避免污染高純度化學液體。

零泄漏密封：采用 PTFE 膜片結(jié)構(gòu)，在水壓條件下的閥座泄漏量為 0，密封可靠性高，適合危險或昂貴化學液體的輸送控制。

抑制顆粒產(chǎn)生：PFA 注塑閥體有助于減少顆粒的產(chǎn)生，滿足半導體/液晶濕法工藝對潔凈度的嚴苛要求。

超小型設(shè)計：屬于 AMDZ 超小型系列，結(jié)構(gòu)緊湊，便于在設(shè)備內(nèi)部狹窄空間或復雜管路中安裝。

應用案例與場景

該產(chǎn)品定位為半導體前工序及化學液體供給設(shè)備的基礎(chǔ)元件：

半導體/液晶濕法工藝：最典型的應用是在涂布機、顯影機等設(shè)備中，用于光刻膠、顯影液、蝕刻液或清洗用純水的精密供給控制。

有機溶劑輸送：該系列可用于使用有機溶劑的涂布機場景。

一般化學液體管路：在需要避免金屬污染、要求耐腐蝕密封的精細化工或醫(yī)藥流體控制環(huán)節(jié)，作為小流量通斷控制閥使用。