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半導(dǎo)體晶圓表面缺陷的檢查,YAMADA鹵素光源YP-250I

 更新時(shí)間:2024-02-02 點(diǎn)擊量:757

高亮度鹵素光源系統(tǒng)是一種宏觀觀察照明裝置,用于檢測(cè)最終成品表面的異物、劃痕、拋光不均勻、霧霾、滑移等

各種缺陷,是半導(dǎo)體晶圓和液晶襯底加工過(guò)程中費(fèi)力的。


1.樣品表面可照射至400,000Lx以上。

2.采用鹵素?zé)糇鳛楣庠矗陨珳馗撸斩炔痪鶆颍?/span>

導(dǎo)致照明非常穩(wěn)定和銳利。

3.由于采用冷鏡,熱量的影響極

小,是常規(guī)鋁鏡的1/3。

4.兩段式切換機(jī)制,讓您一鍵切換

高照度觀察和弱光觀察。

YP-150I???照度范圍φ30 YP-250I???照度范圍φ60

(YP-250可選擇螺旋槳風(fēng)扇型和管道風(fēng)扇型。 )


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